技术编号：6886724
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过熔化析出物(沉淀物)(precipi"s )从衬底拆分 薄膜的方法。背景技术从文献US 5374564 ( Bruel)，已知已存在包括以下步骤的半导 体材料的薄膜的制造方法1. 为了注入足够浓度的离子以产生形成限定弱化层的微空腔的一 层微气泡，用这些离子轰击衬底的表面；2. 使衬底的该表面与刚性体紧密接触；3. 通过施加热处理，在微空腔层的水平上分开。 在以上的文献中，在步骤1中注入的离子有利地为氢离子，但有证据显示也可以使用稀有气体。关于...
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