光电子器件集成的制作方法技术资料下载

技术编号:6979990

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本发明涉及光电子器件集成,特别是高成品率、高密度光电子器件的集成。背景技术 图1和图2说明了在先有技术中所采用的附接多个底发射(或探测)器件(也可称做背发射或探测器件)形成集成光电子器件的方法。根据图1的方法,采用传统方式在晶片衬底102上形成了多个激光器,对于多个探测器(这里可交换地指光探测器),在其自己的或和激光器共同的晶片衬底上,方法也一样。一般来讲,衬底102上最靠近光电子器件106、108与衬底102之间连接的部分104采用对该光电子器件工作波长...
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