技术编号：7051479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用新型负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，用上述描述的方法形成倒锥形抗蚀图案后再形成金属膜图案的方法，新型负性感光树脂组合物在金属膜间作为绝缘成份的用途。特别是本发明涉及使用新型负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，优选使用这种组合物作为原料形成金属膜图案或在金属膜间作为绝缘材料用于制备半导体集成电路、遮光膜、液晶显示器(LCDs)和有机电致发光显示器(有机EL显示器)等，本发明还涉及使用喷射法形成的倒锥形抗蚀图案来形成金属膜图案...
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