技术编号：7084080
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种去磷硅玻璃清洗机，用于清洗晶硅太阳能电池的硅片，包括用于去除硅片正面的磷硅玻璃的HF酸槽和用于去除硅片背面和边缘的N型硅的刻蚀槽；所述HF酸槽设于所述刻蚀槽之前。采用本实用新型，硅片先经过HF酸槽的去磷硅玻璃处理，然后再经过刻蚀槽的去除硅片背面和边缘的N型硅处理，硅片正面边缘的PN结就不会被刻蚀掉，从而不影响电池的光电转换效率。专利说明一种去磷硅玻璃清洗机 [0001]本实用新型涉及电池，尤其涉及一种制作晶硅太阳电池的去磷硅玻璃清...
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