微型机电设备及其制造方法技术资料下载

技术编号:7205322

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本发明涉及利用半导体领域的微细加工技术制造的微型机械共振器和微型机械 电容器等微型机电设备的结构及其制造方法。背景技术近年来,开发了利用半导体领域的微细加工技术而将微细的机械结构与电路一体 化形成的所谓微型机电系统(MEMS)技术,并且致力于其向滤波器或共振器的应用。图6示出使用MEMS技术的现有的微型机械共振器(非专利文献1)。该微型机械 共振器中,如图所示,在基板96上具有共振子90,该共振子90由棱柱状的共振梁92和用于 支承该共振梁92的两端部的四...

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