技术编号:7242222
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种能够在量子电池的制作工艺中途进行充电层的电特性评价的采用半导体探针的量子电池的试验装置以及试验方法。具备将导电性的电极54和由金属氧化物半导体所形成的金属氧化物半导体层56层叠在支持体52上所构成的半导体探针50,对半导体探针50所具备的电极54与层叠有二次电池用充电层18的基极电极14之间施加电压的电压源62,和对半导体探针50所具备的电极54与层叠有充电层18的基极电极14之间所流动的电流进行测定的电流计64;对充电层18的电流-电压特性...
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