技术编号:7287391
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电设备,它提供了一种具有任意行程的微米级、高速、大输出力、双向直线驱动器(马达)。本发明可广泛应用于机器人、生物仪器、光学仪器,以及精密加工等各种高精度定位和任意行程的场合,尤其适合作为仿人机器人的肌肉使用。背景技术 现代工业和科学研究的发展,对机电系统驱动和控制的精密化、结构的微型化的要求越来越高。作为精密或微型机电系统关键技术的微型、大行程、精密微步距驱动器是系统的关键,其特性和功能直接关系到微型机电系统的特性和功能。因此,大行程、微型直...
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