包含超声波导螺杆马达的机构的制作方法技术资料下载

技术编号:7430066

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本发明涉及一种成像装置,其包含一个包含螺纹转轴及与之啮合的螺母构成的小 型超声波线性马达总成。背景技术采用压电电致伸縮、静电或电磁技术的变换器(transducer)非常适用于纳米级 的精确定位。在为压电装置的情况下,可将陶瓷形成当充电和放电时会改变形状的电 容器,从而形成一个力变换器或位置致动器。当用作位置致动器时,压电陶瓷的形状 变化近似正比于所施加的电压。压电致动器的行程局限于陶瓷长度约0. 1%的范围, 此相当于数十微米的典型行程长度。虽然压电致动...
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