技术编号:7547041
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路领域。更具体地,本发明涉及集成电路中的传声器换能器。背景技术将包括背侧腔的传声器换能器集成到集成电路中已成问题。发明内容一种集成到集成电路中的电容性传声器换能器包括固定板以及形成在该集成电路的互连区域之中或之上的膜。一种形成该电容性传声器换能器的工艺包括穿过固定板蚀刻接入槽;形成背腔;形成牺牲材料的牺牲填充区域;以及从集成电路的背侧去除一部分牺牲材料。 附图说明参考附图描述示例性实施例,其中图1A-1G是示出根据示例性实施例包括电容性传声...
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