技术编号:8016287
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及。高电荷态ECR(电子回旋共振)离子源的工作原理是微波从注入端进入离子源的腔体中,该腔体是真空系统的一部分;工作气体进入后,微波将其游离成等离子体;由于微波和磁场的相互作用,使在磁场的特定地方产生电子回旋共振,从而可将等离子体中电子加速到很高能量,然后通过逐级游离使等离子体中的离子加速至高电荷态。另由离子源的线包形成的轴向磁镜场和六级永磁体形成的六极永磁场迭加形成磁约束,该合成的磁场强度在腔体中央有最小值,在该最小强度磁场的附近,等离子体自动保持最高的密度。等离子体中的离子最终从离子源的等离子体电...
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