一种提高离子源束流强度的方法技术资料下载

技术编号:8016287

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

技术领域本发明涉及。高电荷态ECR(电子回旋共振)离子源的工作原理是微波从注入端进入离子源的腔体中,该腔体是真空系统的一部分;工作气体进入后,微波将其游离成等离子体;由于微波和磁场的相互作用,使在磁场的特定地方产生电子回旋共振,从而可将等离子体中电子加速到很高能量,然后通过逐级游离使等离子体中的离子加速至高电荷态。另由离子源的线包形成的轴向磁镜场和六级永磁体形成的六极永磁场迭加形成磁约束,该合成的磁场强度在腔体中央有最小值,在该最小强度磁场的附近,等离子体自动保持最高的密度。等离子体中的离子最终从离子源的等离子体电...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服(仅向企业会员开放)
  • 霍老师:1. 木质纤维组分高效分离及高值化转化 2.(纳米)纤维素功能材料
  • 杨老师:生物质资源利用与制浆技术
  • 崔老师:1. 印刷电子 2. 仿生图案化功能结构
  • 刘老师:1.生物质纤维及其功能材料 2.纸基功能材料
  • 刘老师:1. 纳米基复合功能胶体油墨的设计制备 2. 可穿戴功能(光电、电子、传感、储能等)器件的设计构建 3. 基于3D打印的功能器件的构建及集成
  • 李老师:1. 木质生物质转化利用 2. 绿色包装材料
  • 王老师:1.生物质资源清洁转化利用 2.木质素化学及其高值化 3.木质素基复合材料
  • 杨老师:1. 溶解浆及人造纤维 2. 生物质微纳米纤维及其功能材料 3. 高性能纤维纸基功能材料