技术编号:8041820
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域扩散炉技术领域本实用新型涉及半导体领域,尤其涉及一种扩散炉。背景技术传统的扩散炉的炉口主要通过使用隔热挡片达到隔热效果,以避免热量散失。但是,隔热挡片的隔热效果较差。实用新型内容基于此,有必要提供一种隔热效果较好的扩散炉。包括炉体,所述炉体一侧设有炉口,所述炉口处设有与所述炉口匹配的隔热桶,所述隔热桶内填充有隔热材料。优选的,所述扩散炉还包括设置在所述炉体内侧的桨状结构,所述隔热桶通过所述桨状结构被固定在所述炉口。优选的,所述隔热桶直径小于所述炉口直径。优选的,所述隔热材料为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土...
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