技术编号：8136783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本公开总体上涉及电极整修(reconditioning)的方法，特别是涉及整修多部件 电极的方法，所述多部件电极被用作等离子体加工系统中的激发电极。尽管本公开方法不 受整修前所述电极已使用状况的限制，也不限于特定的电极结构，但基于说明之目的，本发 明参考硅基电极总成对所述方法步骤进行说明，其中硅基电极连接在垫板上。实施本发明 者会发现，对于内部或者外部铝底层硅电极，本发明所阐明的所述方法步骤中的一些具有 良好的实用性。图1所示为包含内部淋浴头电极20和外部环形电极30的电极总成10。图2所 示为分立的所述内...
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