技术编号:8166072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及机械制造领域的机械装备结构,尤其是适用于一种用于真空镀膜设备的升降装置。背景技术真空镀膜设备在真空腔体内的底部放置电子枪,电子枪重量较大,通常由上往下放置,因此需要在真空腔体内的底部留出一定的空间以便装卸电子枪,这样加大了真空腔体的体积,加长了真空腔体的抽气时间。而如果将电子枪从下往上安装,由于真空腔体下面的空间有限,又增加了安装工作的难度。发明内容为了克服现有技术中电子枪从下往上安装的难度问题,本实用新型提供一种用于真空镀膜设备的升降装置。本实用新型采用的技术方案是一种用于真空镀膜设备的升降...
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