一种提高二氧化硅增透膜孔洞稳定性的方法技术资料下载

技术编号:8293530

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本发明涉及,属于光学薄膜制备。背景技术增透膜又称减反射膜,即在光学元件表面上镀光学薄膜,用于减少光学元件表面的反射,增加光线的透过率,从而提高光学元件在工作波长或波段内的性能,因此在光学元件上加镀增透膜是十分必要的。目前,用于增透的镀膜材料主要有二氧化钛、氮化硅、氟化镁、二氧化硅、五氧化二钽、硫化锌、二氧化锆、氧化铈等,对于二氧化硅,由于其成本低廉、折射率适中、表面强度高等优点,成为在玻璃表面制备增透膜的首选材料,如专利CN102674704A、CN102...
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