技术编号:8379510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微机械加速度计是一种重要的微惯性导航传感器,随着微电子机械系统(MEMS)的不断发展,利用MEMS制造而成的硅微加速度计具有体积小,重量轻,成本低,可靠性高,功耗小,可批量生产等优点。在惯性导航领域,硅微机械加速度计研宄现在已受到越来越多的科研院所和高校的重视。电容式微加速度计的尺寸较小,灵敏度和分辨率高,稳定性和温度线性度好。硅微谐振式加速度计是一种高精度的微加速度计,将被测加速度信号转化为谐振频率的变化,直接输出数字信号,具有很高的灵敏度和分辨率,并且...
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