技术编号：8471898
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光栅刻划刀具是一种非常精密的刀具，传统的光栅刻划刀具检测是在高倍的光学显微镜下，通过对刀刃进行各角度的局部照明来观察判定刃口粗细及质量，这种判定方法很大程度上依赖于操作者的经验，无法精确给出数据，属于定性方法，存在一定的误差。随着光栅制造技术的发展，逐渐对光栅刻划刀具刃口提出越来越高的要求，刀具刃口的定量检测也变得非常重要，因此利用原子力显微镜检测刀具刃口技术开始应用。但是原子力显微镜检测刀刃时很难将金刚石探针准确定位到刀刃上，现有技术中，通过原子力显微镜...
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