技术编号：8497811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 谐振式硅微机械陀螺是基于科氏效应原理通过检测施加角速率前后谐振音叉谐 振频率变化来实现对角速率的检测。由于该传感器是基于频率输出原理实现对角速率信号 的测试，因此其具有很多优点，例如稳定性好、可靠性高、传输过程中不易产生失真误差、无 需经A/D转换即可与数字系统接口等。目前谐振式硅微机械陀螺已经成为MEMS领域的一 个重要研宄方向，国内外都有大批学者致力于对谐振式硅微机械陀螺各项技术的研宄。 虽然微机械陀螺已经得到了广泛的运用，其技术也愈发成熟，但微机械...
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