技术编号:8558021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。镀膜技术已经应用于人们的日常生活和工业各个领域,现有技术中制备金黄色的TiN膜、黑色的TiC膜、棕色的TiAlN膜和绿色的ZrO膜过程中,通常都需要采用真空离子镀膜技术,现有的真空离子镀膜设备一般包括炉体主机、抽气系统、电控柜三部分组成,现有的这种结构,生产效率低,生产过程复杂,镀膜质量差,设备成本以及人工成本高。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、设备成本低,镀膜质量好的真空离子镀膜机。为了解决上述技术问题,本实用新型的真空离子镀膜机...
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