技术编号:8865008
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前用于高含氧量靶材(如ITO靶材)烧结的气氛烧结炉均为常规的电阻炉,其通常由内设炉膛的炉体、伸入炉膛内的电加热部件、可升降的台车和驱动台车活动的升降驱动机构所组成,适用于以ITO靶材为主的一类高含氧量靶材的高温烧结。原先此类烧结炉烧结的ITO靶材的成分主要为In2O3,其在烧结时通入预定的空气即满足烧结需求,对于纯氧气的供给需求不大。但随着目前市场上对于In2O5的需求量增大,我公司开始进行In2O5的烧结生产,这就需要在烧结过程中向炉膛内持续供给足够的...
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