技术编号:8926212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过使用标准低电压半导体制造技术,来进行从半导体制造的视角被认为是高电压应用的、对微流体液滴的致动(actuat1n)。因为本发明使得标准半导体制造技术能够实施数字微流体系统,所以本发明能够用于改进将来的具有大规模微电子和微流体集成(large-scale microelectronic andmicrofluidic integrat1n)的数字微流体系统的构建。背景技术在基于液滴的微流体器件中,液体夹设在两个平行的板之间,并且以液滴的形式运送...
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