技术编号:9006224
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。为了实现一维精密运动,精确、稳定的进给机构显得尤为重要,因为它与产品的质量密切相关。另外,复杂光学自由曲面由于体积小,高精度更是对微进给机构提出了严格的要求。微进给系统是加工此类产品的基础,其广泛应用于快刀伺服进给系统,微动工作台和宏微复合平台等中。传统的微进给装置通常采用固定频率设计,对材料特性和制造误差提出了极高的要求,尤其在加工不同产品时,其驱动频率通常会变化,使得固定频率的运动平台位移放大因子不一致,从而使得位移放大失真。在先技术1刚度可调节的快刀...
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