技术编号:9180029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,在区熔中,特别是生产单晶硅、多晶硅及其它材料晶体的工艺过程中,均会使用到高频加热线圈,但此所述的“线圈”并不是其字面意思所指的,由金属线绕制而成的、多匝线圈型结构,而是一整块导电性好的金属制成的、具有一定厚度的板状圆盘形结构,圆盘的上下表面均有凹陷,由于凹陷面增大了电流流动的表面积,从而使感应加热更为均匀。“高频加热线圈”为此对高频感应加热装置的一种惯用说法。区熔法的生产原理为在惰性氩气的气氛下给高频加热线圈通入高频电流,从而对原料棒进行感应加热,随...
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