技术编号:9210715
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 介电常数反映了材料在外电场下极化能力的强弱,介电常数越大,材料的电容能 力越强。一般认为介电常数大于7的材料是高介电材料。材料具有高介电常数能够使得器 件小型化,并且获得高的集成度,这一类材料常被用于制造电容器、动态以及静态存储 器等。目前,对于高介电常数材料现阶段研宄较多有(1) 一元的金属氧化物,如Ta205、 Nb205、Ti02、Hf0^。这类高介电常数的介电常数一般在100以内,其中部分一元金属氧化 物,如HfO2,已经被产业界应用在IGhit...
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