技术编号:9271282
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,离子束溅射镀膜设备所用的离子源是直接连接在真空腔体上的。通常用于镀膜使用的离子源需要定期维护,分为清洗石英腔(射频离子源)和更换电阻丝(直流离子源)。目前的维护方法是打开整个真空腔体,在将整个真空室暴露大气的条件下进行离子源的维护。由于离子源与真空腔体的连接是通过法兰固定连接或者通过真空波纹管进行连接,打开真空腔体对离子源进行维护,将真空腔体暴露在大气环境中会使得腔体上附着很多空气中的水、氧等气体分子,下次使用需要长时间的抽真空过程,不但浪费时间,同...
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