基于GaAs基低漏电流双悬臂梁开关频率检测器的制造方法技术资料下载

技术编号:9325569

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HEMT,即高电子迀移率晶体管,有被称为调制掺杂场效应晶体管、二维电子气场效 应晶体管和选择掺杂异质结晶体管。与普通的场效应管相比,HEMT具有截止频率高、工作 速度快、短沟道效应小和噪声性能好的优点,非常适合应用于微波领域。 频率作为微波信号的三大基本参数之一,其检测在微波通信、雷达监测、导航技术 等领域扮演着非常重要的角色。现有的微波频率检测方法可以分为计数法、光子法、谐振法 和矢量合成法。其中矢量合成法属于无源法,具有频带宽、结构简单、易通过MEM...
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