技术编号:9325571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 频率作为微波信号的基本参数,其检测在微波通信和雷达监测等领域都有着重要 的作用。现有的微波频率检测方法可以分为计数法、光子法、谐振法和矢量合成法。其中矢 量合成法属于无源法,与其他方法相比具有频带宽、结构简单、易通过MEMS技术实现等优 点。 随着微电子与微波通信技术的发展,人们对微波集成电路的性能、功耗以及占有 的芯片面积都提出了更高的要求。近年来由于MEMS技术的快速发展,对梁结构有了比较深 入的研究,使基于硅基COMS (互补金属氧化物半导体)工艺...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。