一种双悬臂梁振子无阀压电泵的制作方法技术资料下载

技术编号:9370007

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压电微栗有结构简单、能耗低、体积小、质量轻等诸多优点,随着对压电微栗研究的深入,近年来,压电微栗在各个领域得到广泛应用。申请专利号为201310292377.4的中国发明专利申请公开了一种压电微型隔膜栗,隔膜和底板的安装支撑平面之间的间隙尺寸小于或者等于压电振子悬臂振动部分的厚度尺寸,使得隔膜接触或者压紧压电振子的悬臂振动部分,由于隔膜和压电振子是平面接触,所以在振动过程中,隔膜对压电振子的振幅存在一定的限制。现有的压电栗压电振子多采用周边支撑固定,限制了...
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