技术编号:9411969
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 太阳能电池膜层质量对太阳能电池性能有关键性影响,高的膜层质量是保证电池 性能的必备要素,为了保证高的膜层质量,除了控制各种反应气体的纯度外,还要防止任何 的其它污染源。 当今工业上广泛使用的PECVD系统,采用一对平板形状相互平行的电极来激发等 离子体,并提供薄膜沉积或蚀刻表面。这两个电极板分别为接地的正极和用来激发等离子 体的激发电极(负极)。常规的激发方式为射频(RF)和极高频(VHF),当今工业上非微晶硅 等薄膜电池前电极一般采用BZ0等作为透明导...
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