波长快速调谐的单片集成外腔振荡激光器的制造方法技术资料下载

技术编号:9454985

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本发明属于光电子技术和平面光波导集成领域,涉及一种波长快速可调的外腔振荡激光器结构。背景技术近年来,为了突破“电子瓶颈”的局限,光子作为新的信息的载体得到了广泛的重视。在长距离通信领域,光通信以高带宽、低损耗等优势取得了巨大的成功;随着技术的发展,光通信将朝着更高的集成密度和更短传输距离发展,即光器件的规模化和单片集成化。由于硅材料具有大的晶圆面积、CMOS工艺兼容等优势,利用硅波导体系实现集成光学的方案受到了越来越广泛的关注。目前,在SOI (Silic...
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