技术编号：9472863
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现今半导体产业已广泛地将电容以及电阻应用于数字电路中。随着电路积极度的提升，将晶体管单元、电容以及电阻整合于同一半导体基底中，而形成一半导体装置已成为主流。在半导体制作工艺的电路中，电容元件(capacitor)的设计原理是于半导体芯片上设置两电极层作为上、下电极板，以及一隔绝层用来将两电极层隔开至一预定距离，当两电极层上被施予电压时，就会有电荷存储于电容中。其中，金属层-绝缘层-金属层(MIM)结构所构成的金属电容器已广泛地运用于极大型集成电路(Ultr...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。