技术编号:9487849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器测量。更具体地说,本发明涉及一种高灵敏度的。背景技术近年来,微管道气流成为流体力学研究的热点之一,该方向主要涉及流体边界问题、气体振动松弛模型以及气体涡旋流动等理论。微尺度管道气流的相关研究能够有效促进微电机机械系统(MEMS)核心部件的设计及制作,例如微型热交换器、微型过滤器以及燃料电池等,同时引领了多个领域新型智能化设备的开发,例如微小型呼吸分析仪、微型喷嘴、微型推进器等。随着MEMS技术的发展,智能气体流量传感器不断涌现,极大地促进了...
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