技术编号：9560826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。提出了一种对靶材施加直流电力来对靶材进行溅射以形成膜的方法(例如参照专利文献1、2)。例如，在专利文献1中公开了一种通过对靶材施加脉冲状的直流电力来对接触孔、通孔、配线槽等的内壁面形成膜的溅射成膜方法。专利文献1日本特开2009-280916号公报专利文献2日本特开2004-266112号公报发明内容_5] 发明要解决的问题然而，在专利文献1、2中，对配置在腔室内的靶材执行溅射，因此难以对不具有适于预先配置在腔室内的靶材的膜使用上述溅射成膜方法。例如，期望...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。