半导体蒸发台用热电偶保护装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9560831

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半导体加工过程中需涉及蒸发台的使用,蒸发台中需采用热电偶对其进行温度传感工作。传统蒸发台的热电偶仅在其两端连接有相关部件,然而,由于热电偶的特性,蒸发台中飞溅的蒸发源沾覆至热电偶表面时发生的热熔现象极易损坏热电偶,同时,在清洁蒸发台腔体的过程中,热电偶亦容易被清洁设备折断。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其可对于温度传感用的热电偶起到良好的保护作用。为解决上述技术问题,本发明涉及一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其包括...
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