技术编号:9575461
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 目前纳米梁吸合效应(pull-in)是制约纳米机电系统NEMS(Nano ElectromechanicalSystem)器件广泛应用的一个难题。在NEMS器件中,做机械运动的构 件通常可以简化为纳米梁,当纳米梁的下表面和基底上表面相互接近的时候,一方面纳米 梁所受静电力等结构件的相互作用力比所受弹性力更为显著,且纳米梁所受静电力与纳米 梁和驱动电极间距离的二次方成反比,当纳米梁和驱动电极间距离变小时,纳米梁所受静 电力急剧增大,容易引起纳米梁与驱动电极...
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