技术编号：9630055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。接触式位移传感器是形貌测量仪器的核心器件，广泛地用于工业在线和离线工件的表面形貌测量检测和表征。对于实体探针接触式形貌测量仪器，实体探针与被测工件之间测量力将直接影响被测工件在检测过程中的损失程度以及实体探针的使用寿命。若测量力过大，探针尖端容易磨损和折断，降低测量精度和缩短探针的使用寿命，同时被测工件表面易被探针形成永久性损伤；若测量力较小，探针运动无法与被测工件保持良好接触，容易出现探针的跳动，粘滑失稳等现象，降低探针对被测工件表面变化的跟随能力和测量...
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