技术编号：9685202
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 精密机械结构中，经常遇到送样的问题；某个平面物体，绕垂直它表面的轴旋转一 个角度，我们需要找到物体表面的某点在旋转前后的坐标。旋转轴在物体表面的投影称为 旋转中必。在送类问题中，由于机械安装误差等因素，转动中必并不绝对和预先确定的点重 合。它的实际位置和理论位置之间的误差需要定标给出，否则，无法对物体表面某点进行精 确定位，而且，距离转动中必越远的点定位误差越大。 在半导体检测设备中，需要对娃片表面某些点测量薄膜厚度或者关键几何尺寸。 测量用的探测光需要...
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