技术编号：9728494
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。对于SRAM阵列电容来说，当前常用电桥法来测量电容。图1为当前常用的测量电容的电桥法电路图。如图1所示，电桥平衡时可以用等式Rx+l/j ω(χ = R4/R3(R2+l/j coC2)来表示，则Cx = R3C2/R4。当前常用的用于SRAM阵列电容的测试结构通常采用LCR测试仪(例如Agilent4284)对电容进行直接测量。这类常规测试仪的精度不高，因此直接利用这类测试仪测量电容时的误差会比较大。并且，采用LCR测试仪测量电容时每次测试都要求电容校准...
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