技术编号：9740827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。图形化是微纳加工中最为重要的技术之一，其中，金属图形化对于制备电极、实现光互联以及形成刻蚀掩模都极为重要。现有技术的金属图形化技术一般采用光学曝光和显影的技术来定义图形，并通过刻蚀来形成图形。这种技术大量用到有机试剂，对于有机电子器件而言难以应用。此外，这种液相的工艺技术也无法适应真空环境下对图形化技术的需求。考虑到纳米结构的高效率制备，普通光学曝光技术还受到精确度的制约。微接触图形转移技术是一类通过物理接触来实现微结构图形从一个样品表面向另一个样品表面转...
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