技术编号:9794198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。自从过去以来,已存在通过化学气相沉积(CVD)或蒸汽沉积而在由有机材料形成的滤光层(有机膜)的表面沉积用于防止湿气渗入的无机膜的方法,该滤光层设置在光电转换设备上(见例如专利文献I和2)。专利文献1日本专利申请特开号Sho 60-247202专利文献2日本专利申请特开号Hei 5-283668发明内容本发明要解决的问题然而,在相关技术的方法中,由于该滤光层的侧表面变得基本竖直于该膜,从而难以将该无机膜沉积在该滤光层的侧表面上。因此,该滤光层的侧表面露在外面...
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