技术编号:9803060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 从前,作为使用碱性显影液的正型图案形成方法及用于其的正型抗蚀剂组合物, 已提出有各种构成(例如,参照专利文献1~专利文献3)。除此以外,近年来,使用有机系显 影液的负型图案形成方法及用于其的负型抗蚀剂组合物正以形成如通过正型抗蚀剂组合 物所无法达成的微细接触孔或沟槽图案为主要用途而得到开发(例如,参照专利文献4~专 利文献7)。 所述正型图案形成方法或负型图案形成方法中所使用的抗蚀剂组合物或显影液 通常在利用过滤器来去除抗蚀剂组合物或显影液中的微粒子后得...
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