一种三轴向振动传感器结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9842243

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三轴向振动传感器能够同时测量一个测点相互正交的X、Y、Z三个方向的振动信号,在航空航天领域有着广阔的应用前景。频响特性是衡量振动传感器性能优劣的最重要指标之一,传统的三轴压阻式振动传感器虽具有良好的直流效应,但其温度效应严重,动态范围有限,频响特性仅能达到IKHz左右。三轴电容式振动传感器具有高灵敏度、低温度效应、低功耗等优点,但由于传感器输出的高阻抗,其易受电磁干扰影响,不适合在恶劣环境下工作。且其频率范围有限,最高为3KHz左右。三轴压电式振动传感器频...
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