技术编号:9868199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池,尤其涉及一种周转设备、周转方法以及太阳能电池生产线。背景技术硅基薄膜太阳能电池生产线包括磨边设备、清洗设备、激光划线设备、等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n,PECVD)链膜设备、物理气相沉积(PhysicaI Vapor Deposi t1n,PVD)镀膜设备、物料传输系统(MaterialHandling System,MHS)等,其生产的娃基薄膜太阳能电池尺...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。