技术编号：9932009
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在超声换能器领域中并且尤其在超声成像系统领域中，使用微机械超声换能器元件(CMUT)通常是已知的。由于能够通过半导体处理技术制造电容性微机械换能器元件的事实，因而换能器的尺寸可以收缩到非常小的特征尺寸。而且，借助于专用集成电路来驱动包括微机械超声换能器阵列的超声换能器通常是已知的，所述专用集成电路充当针对换能器元件中的每个的电接口。为了集成整体换能器组件，还已知，将换能器阵列直接制造在专用集成电路的顶部表面上或将换能器阵列和专用集成电路附接到彼此以便减小换...
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