微加速度传感器,micro-accelerometer
1)micro-accelerometer微加速度传感器
1.After strictly controlling the surface quality of the element and logically designing the server controller, the micro-accelerometer achieves: the range of ±70 g, the linearity secondary multinomial coefficient of 10-6, the remained error of 15 mg,.为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。
2.Capacitive silicon Micro-accelerometer is kind of important mechanical inertial sensor, one of basic component of measurement.电容式硅微加速度传感器是一种重要的惯性传感器,是惯性测量组合系统的基础元件之一,在生产生活和军事武器中有着广泛的应用。
3.The development of capacitive micro-accelerometer, the principle of micro-machined, the closed-loop micro-accelerometer and sigma-delta technology is analyzed in this thesis.微加速度传感器是MEMS的重要研究领域之一,在工业控制、环境监控、汽车系统以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。
英文短句/例句

1.Research on Sigma-Delta Micro-machined Capacitive Accelerometer SystemSigma-delta电容式微加速度传感器系统研究
2.Dynamic States Specific Research for High Frequency Micro accelerometers高频微加速度传感器的动态特性研究
3.Reserch on Stability of Difference Capacitive Micro-Accelerometer差分电容式微加速度传感器稳定性研究
4.Penetration test of high-g micro acceleration sensor一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试
5.Static Error Calibration of Micro-Machined Capacitance AccelerometerR电容式硅微加速度传感器静态误差的标定
6.Research on Thick Film Hybrid Integration Fabrication and Program of Micromechanical Accelerometer;硅微加速度传感器厚膜混合集成方案与工艺研究
7.Study on a Novel Type of Piezoresistive Micro-silicon Accelerometer Based on the Cantilever with Rectangular-slits Structure基于孔缝悬臂梁结构的新型压阻式硅微加速度传感器研究
8.On the stability of silicon microstructure acceleration transducer硅微结构加速度传感器稳定性的研究
9.Application of MEMS accelerometer on micro-robotsMEMS加速度传感器在微型特种机器人中的应用
10.piezoresistive acceleration transducer压阻式加速度传感器
11.itance acceleration transducer差容式加速度传感器
12.force-balance acceleration transducer力平衡式加速度传感器
13.strain gauge acceleration transducer应变式加速度传感器
14.Features and Applications of 3031 Accelerometer微机械3031型加速度传感器特点分析及应用
15.Design of Micro-mechanical Piezoresistive Accelerometer System for Fuze引信用微压阻式加速度传感器系统设计
16.Research on reliability of the MEMS convective accelerometer微机械热对流加速度传感器可靠性研究
17.The Mechanical Analysis of Micromachined Accelerometer with Piezoelectric Thin Films Read-out;压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
18.Fabrication and Testing of the Capacitive Acceleration Microsensor Based on MEMS;基于MEMS加速度微传感器制作工艺及测试
相关短句/例句

microaccelerometer微加速度传感器
1.Progress in multi-axis microaccelerometer;多轴微加速度传感器的进展
2.Design and fabrication of novel silicon based microaccelerometer;新型硅微加速度传感器的设计与制作
3.Effect of fabrication characteristic of 2-D microaccelerometer on performance;工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响
3)micro accelerometer微加速度传感器
1.Design of wireless mouse based on micro accelerometer;基于微加速度传感器的无线鼠标的设计
2.Modeling and virtual working of micro accelerometer in virtual environment is discussed in this paper.对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究 。
4)acceleration microsensor加速度微传感器
1.This paper chiefly describes the structure, operational principle of several typical resonant acceleration microsensors and microgyroscopes, and analyzes their application features.对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。
5)silicon micromachined accelerometer硅微机械加速度传感器
1.This paper presents a novel silicon micromachined accelerometer with sidewall-diffusion-pizeoresistors.给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法。
2.The present work summarizes the structure and dynamic model of a high g shock Silicon micromachined accelerometer.给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。
6)micro silicon accelerometer微硅加速度传感器
1.A kind of neural networks compensatio n method is proposed in which genetic algorithm and neural networks are mixed for micro silicon accelerometer.对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 。
延伸阅读

加速度传感器加速度传感器acceleration transducer  i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器,也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量,允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量,允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量,其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%,电位计式的为1%一3%。(施昌