一种晶振片回收装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种晶振片回收装置，包括：密封腔体，所述腔体中设有用于盛放待回收晶振片的承载台，所述腔体上设有排气口；用于对待回收晶振片进行加热的加热器。本实用新型的晶振片回收装置将待回收的晶振片在密封腔体中利用加热器蒸发掉晶振片表面的有机物，使得晶振片的频率恢复到初始值，与化学方法相比，本实用新型可以在不影响晶振片性能的情况下多次重复使用，有效的节约了成本。
【专利说明】一种晶振片回收装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶振片回收利用领域，特别是涉及一种晶振片回收装置。
【背景技术】
[0002]晶振片在膜厚控制领域是必不可少的控制元器件。晶振片的基本原理就是晶振的频率会随着膜厚的增加而改变，通过测试频率的变化来确定膜厚和速率。同时，晶振片又属于消耗型源器件，在使用后往往会报废掉，产生一笔很大的费用。
[0003]常用的晶振片回收方法是:针对有机的晶振片采用溶液清洗，金属的晶振片采用酸液清洗。这些方法都属于化学方法，晶振片处理完成后精度和寿命都会下降，影响到晶振片的重复利用的精度。
实用新型内容
[0004]为了解决现有的晶振片在回收利用时采用化学方法清洗，晶振片处理完成后精度和寿命都会下降的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种晶振片回收装置，包括:
[0006]密封腔体，所述腔体中设有用于盛放待回收晶振片的承载台，所述腔体上设有排气口 ；
[0007]用于对待回收晶振片进行加热的加热器，所述加热器设置在承载台上方与待回收晶振片相对的位置。
[0008]进一步地，还包括用于对待回收晶振片进行冷却的液体冷却器，所述液体冷却器设置在所述承载台上。
[0009]进一步地，所述液体冷却器采用循环液体。
[0010]进一步地，所述液体冷却装置包括水、油或乙二醇溶液中的一种或多种。
[0011 ] 进一步地，所述加热器为电子束加热器、红外加热器、微波加热器、电阻加热器或者紫外加热器。
[0012]进一步地，所述加热器包括电子束加热器，所述电子束加热器与各个待回收晶振片 对应设置。
[0013]进一步地，还包括用于对所述腔体进行真空处理的真空器，所述真空器与所述排气口相连接。
[0014]进一步地，所述真空器为真空栗。
[0015]进一步地，还包括控制单元，所述控制单元与加热器相连接，用于向加热器发送加热的控制信号。
[0016]进一步地，还包括控制单元，所述控制单元与真空器相连接，用于向真空器发送抽真空的控制信号。
[0017]本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:本实用新型的晶振片回收装置将待回收的晶振片在密封腔体中利用加热器蒸发掉晶振片表面的有机物，使得晶振片的频率恢复到初始值，与化学方法相比，本实用新型可以在不影响晶振片性能的情况下多次重复使用，有效的节约了成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型提供的一种实施例晶振片回收装置的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型的一种实施例的加热器的结构示意图；
[0020]图3为本实用新型的一种实施例的承载台的结构示意图；
[0021]图4为电子束加热器的结构示意图；
[0022]图5为本实用新型提供的第二种实施例晶振片回收装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0024]如图1所示，为本实用新型提供的一种实施例的结构示意图，该晶振片回收装置包括:
[0025]密封腔体100，所述密封腔体中设有用于盛放待回收晶振片200的承载台101和排气口，承载台101上设有多个容纳空间，待回收晶振片200放置在承载台101的容纳空间中;
[0026]加热器300，用于对待回收晶振片进行加热，以蒸发掉晶振片表面的有机物，所述加热器设置在与待回收晶振片相对的位置，即设置于空腔中承载台的上方与晶振片相对应的位置。
[0027]本实用新型的晶振片回收装置将待回收的晶振片在密封腔体中利用加热器蒸发掉晶振片表面的有机物，使得晶振片的频率恢复到初始值，与化学方法相比，本实用新型可以在不影响晶振片性能的情况下多次重复使用，有效的节约了成本。
[0028]参阅图1和3，本实用新型的晶振片回收装置还包括用于对待回收晶振片进行冷却的液体冷却器400，所述液体冷却器设置在所述承载台上，用于对承载台进行液体冷却。本实用新型的腔体可以是各种适合的形状，优选地，该腔体上设有排气口，便于排出气体。为了便于放入和取出晶振片，还在腔体上设有腔门。
[0029]如图3所示，为本实用新型的一种实施例的承载台的结构示意图，承载台101的一侧设有待回收晶振片200，另一侧设有液体冷却器400。该液体冷却器用于防止晶振片加热温度过高，避免温度骤升，破坏晶振片有机材料的性能。该液体冷却器可以是水或者油，优选地，为循环液体，所述循环液体设置在承载台101放置晶振片相反的一侧。由于待回收晶振片的周围设有液体，使得加热的温度较为缓慢升高，避免了温度的骤升所造成的晶振片损坏。该液体冷却器400也可以确保晶振片在整个工艺过程中处于一个相对低的温度环境中，防止温度骤升所造成的性质发生改变。
[0030]如图2所示，为本实用新型的一种实施例的加热器的结构示意图，该加热器300用于对待回收晶振片进行加热，以蒸发掉晶振片表面的有机物。该加热器可以是电子束加热器、红外加热器、微波加热器、电阻加热器中的一种或多种，加热器可以设置成线状或者平面状。优选地，本实用新型的加热器200包括比例-积分-微分(Proportion IntegrationDifferentiatiomPID)控制器，所述PID控制器用于对待回收晶振片的温度进行控制。其中，PID控制器是一个在工业控制应用中常见的反馈回路部件。这个控制器把收集到的数据和一个参考值进行比较，然后把这个差别用于计算新的输入值，这个新的输入值的目的是可以让系统的数据达到或者保持在参考值。PID控制器可以根据历史数据和差别的出现率来调整输入值，使系统更加准确而稳定。
[0031]如图4所示，为本实施例的电子束加热器的结构示意图，该加热器为电子束加热器，所述电子束加热器与各个待回收晶振片一一对应设置。该电子束加热器包括灯丝301、聚束极302、阳极303、聚焦线圈304、x轴偏转线圈305、y轴偏转线圈306等，电子束在灯丝生成，通过聚束极(阴极)聚集后加速到阳极，通过阳极后在磁场作用下加热到各个晶振片对应设置，从而可以对各个晶振片进行加热回收。电子束加热器为现有技术，在此不再赘述。
[0032]再次参阅图1，本实用新型的晶振片回收装置还包括用于对所述腔体进行真空处理的真空器500，所述真空器与所述排气口相连接，用于对腔体进行真空处理，使得晶振片回收过程是在真空环境下完成，避免了晶振片受到污染。该真空器可以为各种实现真空处理的装置，优选为真空栗，真空栗通过腔体上的排气口来抽真空。
[0033]如图5所示，为本本实用新型第二种实施例的晶振片回收装置的结构示意图，该实施例与第一种实施例基本相同，其区别是:还包括控制单元600，所述控制单元与加热器相连接，用于向加热器发送加热的控制信号。本实用新型的控制单元600还可以与真空器500相连接，用于向真空器发送抽真空的控制信号。
[0034]该实施例还在各个待回收晶振片上连接有温度传感器，各个温度传感器分别与该控制单元600相连接，用于向控制单元发送待回收晶振片的温度。此时，控制单元可以根据接收到的温度来控制加热器进行加热的温度。例如，可以预先设置一标准温度，当控制单元接收到晶振片的温度低于该标准温度时，给加热器发出升温的控制信号，使得加热单元对晶振片进行加热，使得晶振片表面的有机物蒸发掉；当接收到的温度低于该标准温度时，给加热器发出降温的控制信号，使得加热器停止或者暂停加热，避免了能量的浪费。
[0035]以下对本实用新型一种实施例的晶振片回收装置的工作过程进行说明:
[0036]步骤一:将报废晶振片放在晶振片载物台上；
[0037]步骤二:封闭密封腔体，对腔体进行抽真空，开冷却水；
[0038]步骤三:使用电子束加热，对晶振片进行加热，使得晶振片表面有机物蒸发。
[0039]步骤四:泄真空，将处理完的晶振片取出。
[0040]本实用新型采用物理的方法来处理晶振片，将待回收的晶振片在密封腔体中利用加热器蒸发掉晶振片表面的有机物，使得晶振片的频率恢复到初始值，与化学方法相比，本实用新型可以在不影响晶振片性能的情况下多次重复使用，有效的节约了成本。
[0041]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种晶振片回收装置，其特征在于，包括: 密封腔体，所述腔体中设有用于盛放待回收晶振片的承载台，所述腔体上设有排气P; 用于对待回收晶振片进行加热的加热器，所述加热器设置在承载台上方与待回收晶振片相对的位置。
2.根据权利要求1所述的晶振片回收装置，其特征在于，还包括用于对待回收晶振片进行冷却的液体冷却器，所述液体冷却器设置在所述承载台上。
3.根据权利要求2所述的晶振片回收装置，其特征在于，所述液体冷却器采用循环液体。
4.根据权利要求3所述的晶振片回收装置，其特征在于，所述循环液体为水、油或者乙二醇溶液。
5.根据权利要求1-4任何一项所述的晶振片回收装置，其特征在于，所述加热器为电子束加热器、红外加热器、微波加热器、电阻加热器或者紫外加热器。
6.根据权利要求5所述的晶振片回收装置，其特征在于，所述加热器包括电子束加热器，所述电子束加热器与各个待回收晶振片一一对应设置。
7.根据权利要求1-4任何一项所述的晶振片回收装置，其特征在于，还包括用于对所述腔体进行真空处理的真空器，所述真空器与所述排气口相连接。
8.根据权利要求7所述的晶振片回收装置，其特征在于，所述真空器为真空栗。
9.根据权利要求1-4任何一项所述的晶振片回收装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元与加热器相连接，用于向加热器发送加热的控制信号。
10.根据权利要求7所述的晶振片回收装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元与真空器相连接，用于向真空器发送抽真空的控制信号。
【文档编号】B08B3/10GK203599144SQ201320591113
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年9月24日 优先权日:2013年9月24日
【发明者】赵德江, 张家奇 申请人:京东方科技集团股份有限公司