一种便于清洗的刷子结构及刷子清洗装置的制作方法

本技术属于半导体，涉及一种便于清洗的刷子结构及刷子清洗装置。

背景技术：

1、先进的ic制造需求各种湿法清洗和湿法刻蚀，其中，晶片湿法清洗主要依靠物理方法，使用水合动力、冲击力等物理力，靠动量传递把污染物从晶片上分拆去除。使用较广泛的为刷子擦洗，刷子擦洗去除颗粒，是靠聚乙烯醇(pva)刷子在晶片表面上转动，通过机械力使颗粒脱离晶片，喷头喷射流动的化学试剂，一方面用来调节刷子、晶片表面及颗粒表面的静电力，使得脱落的颗粒保持在水溶液中，另一方面作为载体携带颗粒远离晶片和刷子，双重作用使颗粒得以去除。

2、目前湿法清洗采用的刷子为圆柱形结构的海绵，在清洗过程中，颗粒容易从边缘处掠过，不易被刷子带走，去除晶片表面颗粒物效果有限。另外，刷子的材质是pva，pva是一种软的海绵压缩性材料，体积90％以上为气孔，这种结构特征使其具有良好柔软性及吸水特性，但是也使其可以在内部“保留颗粒”，“保留颗粒”不容易被清洗去除，在不同的湿法清洗过程中容易造成交叉污染。为了避免交叉污染，主要通过以下方法：(1)通过低流量去离子水冲洗刷子以去除“保留颗粒”，但是冲洗效果有限，并不能真正的避免交叉污染。(2)增加刷子的更换频率，但是增加成本和能源消耗。

3、因此，如何提供一种便于清洗的刷子结构及刷子清洗装置，降低去除刷子中“保留颗粒”的难度、避免交叉污染、降低成本，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种便于清洗的刷子结构及刷子清洗装置，用于解决现有技术中刷子中的“保留颗粒”去除难度大、存在交叉污染等问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种便于清洗的刷子结构，包括：

3、可收缩件，能够在外力的作用下收缩或伸展，其中，所述可收缩件在收缩状态时呈螺旋状，所述可收缩件在伸展状态时呈长条状；

4、海绵体，位于所述可收缩件的下方，所述海绵体的顶端与所述可收缩件固定连接，其中，所述可收缩体收缩时，带动所述海绵体卷曲，所述可收缩体伸展时，带动所述海绵体展开。

5、可选地，所述可收缩件采用弹性收缩体，所述弹性收缩体包括塑料尺或金属尺。

6、可选地，所述可收缩件采用多关节活动片。

7、可选地，所述可收缩件的外表面包覆有化学惰性材料层。

8、可选地，所述海绵体的数量为一个，所述海绵体呈片状结构，所述海绵体的长度与所述可收缩件的长度相等。

9、可选地，所述海绵体的数量为多个，所述海绵体呈条状结构，多个所述海绵体依次间隔预设距离排布于所述可收缩件的下方。

10、可选地，所述海绵体包括第一海绵体和第二海绵体，其中，所述第一海绵体呈片状结构，所述第二海绵体呈条状结构。

11、可选地，所述第一海绵体的数量为一个，所述第二海绵体的数量为多个，其中，所述第一海绵体位于所述可收缩件的端部，多个所述第二海绵体与所述第一海绵体间隔预设距离且依次排布，当所述可收缩件在收缩状态时，所述第一海绵体包覆多个所述第二海绵体。

12、本实用新型还提供一种刷子清洗装置，用于清洗上述任意一项所述的便于清洗的刷子结构，包括：

13、清洗槽，所述清洗槽的容积大于所述便于清洗的刷子结构呈展开状态时的体积，所述清洗槽中设置有超声探头。

14、可选地，所述清洗槽中设置有注水口，用于向所述清洗槽中注入去离子水。

15、如上所述，本实用新型的便于清洗的刷子结构在卷曲状态进行湿法清洗，海绵体之间具有更多的空隙，能够较容易带走颗粒，提高清洁晶圆表面的性能，在展开状态进行清洁，增大其清洁表面积，并且海绵体的厚度薄使得去离子水容易冲刷掉内部的“保留颗粒”。另外，在进行清洁时配合超声探头提高清除颗粒物的效果，避免刷子在不同的湿法清洗过程中造成交叉污染。

技术特征：

1.一种便于清洗的刷子结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述可收缩件采用弹性收缩体，所述弹性收缩体包括塑料尺或金属尺。

3.根据权利要求1所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述可收缩件采用多关节活动片。

4.根据权利要求1所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述可收缩件的外表面包覆有化学惰性材料层。

5.根据权利要求1-4任一项所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述海绵体的数量为一个，所述海绵体呈片状结构，所述海绵体的长度与所述可收缩件的长度相等。

6.根据权利要求1-4任一项所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述海绵体的数量为多个，所述海绵体呈条状结构，多个所述海绵体依次间隔预设距离排布于所述可收缩件的下方。

7.根据权利要求1-4任一项所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述海绵体包括第一海绵体和第二海绵体，其中，所述第一海绵体呈片状结构，所述第二海绵体呈条状结构。

8.根据权利要求7所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于：所述第一海绵体的数量为一个，所述第二海绵体的数量为多个，其中，所述第一海绵体位于所述可收缩件的端部，多个所述第二海绵体与所述第一海绵体间隔预设距离且依次排布，当所述可收缩件在收缩状态时，所述第一海绵体包覆多个所述第二海绵体。

9.一种刷子清洗装置，用于清洗权利要求1-8中任意一项所述的便于清洗的刷子结构，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的刷子清洗装置，其特征在于：所述清洗槽中设置有注水口，用于向所述清洗槽中注入去离子水。

技术总结
本技术提供一种便于清洗的刷子结构和刷子清洗装置，该刷子结构包括可收缩件和海绵体，可收缩件能够在外力的作用下收缩或伸展，可收缩件在收缩状态时呈螺旋状，可收缩件在伸展状态时呈长条状；海绵体位于可收缩件的下方，海绵体的顶端与可收缩件固定连接，其中，可收缩体收缩时带动海绵体卷曲，可收缩体展伸时带动海绵体展开。本技术的便于清洗的刷子结构在卷曲状态进行湿法清洗，海绵体之间具有更多的空隙，能够较容易带走颗粒，提高清洁晶圆表面的性能，在展开状态进行清洁，增大其清洁表面积，并且海绵体的厚度薄使得去离子水容易冲刷掉内部的“保留颗粒”，避免刷子在不同的湿法清洗过程中造成交叉污染。

技术研发人员：李苗苗,唐海银
受保护的技术使用者：芯恩（青岛）集成电路有限公司
技术研发日：20230803
技术公布日：2024/2/19