一种平面度修正分区吸附载台的制作方法

本技术涉及载具平台，特别涉及一种平面度修正分区吸附载台。

背景技术：

1、当前的吸附载台，顶面大都呈现平面，并且开设有多个真空气孔，将工件放置在吸附载台上，使真空气孔吸气，进而将工件固定在吸附载台上，随吸附载台一同移动，直至完成工件在吸附载台上的相应加工步骤。

2、现有的吸附载台通用性较差，对于不同尺寸的工件(例如不同尺寸的显示器)，通常需要匹配与不同尺寸的吸附载台，并且当工件尺寸较大时，由于吸附载台各部分存在加工以及装配误差，导致吸附载台顶面的平面度较难保证。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种平面度修正分区吸附载台，克服上述缺陷，使吸附载台能够适应多种尺寸的工件，并且能够随时调整顶面的平面度。

2、为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种平面度修正分区吸附载台，包括底板、载板、多个伸缩支撑座，所述底板与所述载板平行且纵向间隔设置，所述底板位于所述载板下方，多个所述伸缩支撑座均布于所述底板与所述载板之间，每个所述伸缩支撑座的一端连接在所述底板的顶面上，另一端连接在所述载板的底面上，以分别在所述底板与所述载板间进行伸缩，所述载板的顶面上形成有多个独立吸气的真空吸附区，每个所述真空吸附区内均设置有多个真空气孔。

3、进一步，所述底板的底面连接有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动所述底板和载板水平旋转。

4、进一步，所述底板和所述载板均水平设置。

5、进一步，各所述伸缩支撑座均垂直于所述底板。

6、进一步，还包括真空装置，对应每个所述真空吸附区设置有一个截止阀，一个所述真空吸附区内的多个真空气孔同时通过一个截止阀导通所述真空装置。

7、进一步，各所述伸缩支撑座均包括第一螺母、第二螺母、双头螺杆，所述第一螺母固定在所述载板的底面上，所述第二螺母固定在所述底板的顶面上，所述双头螺杆的一端螺接所述第一螺母，另一端螺接所述第二螺母，旋转所述双头螺杆，以调节所述第一螺母与所述第二螺母的间距。

8、采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：

9、(1)所述底板与所述载板平行且纵向间隔设置，多个所述伸缩支撑座均布于所述底板与所述载板之间，每个所述伸缩支撑座的一端连接在所述底板的顶面上，另一端连接在所述载板的底面上，以分别在所述底板与所述载板间进行伸缩，通过调节各伸缩支撑座进行伸缩，以改变载板各处到底板的距离，进而使载板产生小幅变形，实现调整载板的平面度；

10、(2)所述载板的顶面上形成有多个独立吸气的真空吸附区，每个所述真空吸附区内均设置有多个真空气孔，针对不同尺寸的工件，对应开启工件正下方的真空吸附区对工件进行吸附，使吸附载台能够适应多种尺寸的工件。

技术特征：

1.一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：包括底板(1)、载板(2)、多个伸缩支撑座(3)，所述底板(1)与所述载板(2)平行且纵向间隔设置，所述底板(1)位于所述载板(2)下方，多个所述伸缩支撑座(3)均布于所述底板(1)与所述载板(2)之间，每个所述伸缩支撑座(3)的一端连接在所述底板(1)的顶面上，另一端连接在所述载板(2)的底面上，以分别在所述底板(1)与所述载板(2)间进行伸缩，所述载板(2)的顶面上形成有多个独立吸气的真空吸附区，每个所述真空吸附区内均设置有多个真空气孔(4)。

2.如权利要求1所述一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：所述底板(1)的底面连接有旋转驱动机构(5)，所述旋转驱动机构(5)驱动所述底板(1)和载板(2)水平旋转。

3.如权利要求1所述一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：所述底板(1)和所述载板(2)均水平设置。

4.如权利要求1所述一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：各所述伸缩支撑座(3)均垂直于所述底板(1)。

5.如权利要求1所述一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：还包括真空装置，对应每个所述真空吸附区设置有一个截止阀(6)，一个所述真空吸附区内的多个真空气孔(4)同时通过一个截止阀(6)导通所述真空装置。

6.如权利要求1所述一种平面度修正分区吸附载台，其特征在于：各所述伸缩支撑座(3)均包括第一螺母(7)、第二螺母(8)、双头螺杆(9)，所述第一螺母(7)固定在所述载板(2)的底面上，所述第二螺母(8)固定在所述底板(1)的顶面上，所述双头螺杆(9)的一端螺接所述第一螺母(7)，另一端螺接所述第二螺母(8)，旋转所述双头螺杆(9)，以调节所述第一螺母(7)与所述第二螺母(8)的间距。

技术总结
本技术公开一种平面度修正分区吸附载台，包括底板、载板、多个伸缩支撑座，所述底板与所述载板平行且纵向间隔设置，所述底板位于所述载板下方，多个所述伸缩支撑座均布于所述底板与所述载板之间，每个所述伸缩支撑座的一端连接在所述底板的顶面上，另一端连接在所述载板的底面上，以分别在所述底板与所述载板间进行伸缩，所述载板的顶面上形成有多个独立吸气的真空吸附区，每个所述真空吸附区内均设置有多个真空气孔。本技术使吸附载台能够适应多种尺寸的工件，并且能够随时调整吸附载台顶面的平面度。

技术研发人员：林凯凯,陈高峣
受保护的技术使用者：厦门微亚智能科技有限公司
技术研发日：20221108
技术公布日：2024/1/12