大工件的精确切割的制作方法

专利名称：大工件的精确切割的制作方法
技术领域：
本发明涉及对大工件的切割和切片。具体地，本发明涉及使用含有多条细金属丝
的线状锯(wiresaw)对玻璃或玻璃陶瓷的大工件精确切片。比如，本发明用于精确切割 大的氧化硅玻璃工件以生产大的氧化硅玻璃薄片，该薄片用于生产大尺寸的图像遮罩 (imagemask译材。
背景技术：
已知线状锯可作为用于切割固体工件的工具。通常，在线状锯中，用包含的磨料 颗粒或在与金属丝一起移动的分散于切割浆液中的磨料颗粒的帮助下，放置一根或多 根细金属丝，与待切割的工具接触，并在预定的压力下使金属丝相对于工件移动。鉴 于磨料颗粒和工件之间的摩擦和磨料颗粒产生的切割作用，工件的一些部分被除去， 在其中形成狭缝，以此，将工件切成多片。现有技术已经实现了对固体物体的精确切 割，但是这仅仅涉及较小的工件，诸如直径小于30厘米的工件。
比如，美国专利第5758633号公开了用于精确切割半导体材料的金属丝割锯设备， 其包含多根切割金属丝。该割锯设备包括由交替或连续运动的导丝筒支承的平行金属 丝。每一个圆筒都包括一个绕固定轴转动的可旋转套筒。因此，可以更好地分配施加 于旋转材料上的负荷、减少热源、提高割锯的精度，更便于拆卸和维护。然而，在这 篇专利文献中公开的设备，是设计用于切割半导体块，诸如单晶硅、GaS、 InP、 GGG(钆 镓石榴石)、合成蓝宝石等，用于生产半导体芯片和其它器件。这些待切割的材料的大 小通常为直径不超过50厘米。该文献中公开的割锯设备明显不能用于精确地切割直径 大于1米的尺寸的玻璃和玻璃陶瓷块。
近来，随着LCDTFT显示器市场的快速发展，在用于制造LCDTFT面板的图像 遮罩的生产中，对直径大于l米的大的玻璃薄板的需求不断增加。许多所需的玻璃薄 板无法使用传统的玻璃平板生产方法(诸如轧制和浮法)来生产，而必需通过对直径大 于1米、厚度为几十厘米的大的玻璃工件进行切片，然后对切割的玻璃板表面进行精 确抛光才能制成。
4大的玻璃工件，特别是由火焰水解法生产的氧化硅制成的那种，起初是十分昂贵 的。因此，要求其切割方法具有尽可能高的产率而材料的损失尽可能小。还十分需要 如此切割的板表面具有低的粗糙度，以减少下游的研磨和抛光工作。而且，对于将被 用作图像遮罩基材的那些精密的玻璃板，要求高的表面平直度和厚度均匀性。因此， 也要求切割方法的高精确度。最后同样重要的是，由于大的玻璃工件十分庞大，因此 会很重，通常重达几吨。在精确的切割过程中操作和处理这样大而重的玻璃工件是一 项严峻的挑战。有关在切割前后保护这些昂贵的材料以及对加工这些材料或在这些材 料附近的工人的安全问题都是重大的且不易解决。
对大尺寸玻璃工件切片的另一个问题是，如果使用切割浆液时，金属丝与足够量 的切割浆液的移动能力。由于金属丝按切割方向移动的距离较长，在切割路径中引入 切割浆液的量不足的可能性很大。不足量的切割浆液会导致切割速度减慢和切割金属 丝过热。在使用细切割金属丝时，这些问题尤其突出；然而，要实现低材料损失需要 细的切割金属丝。
迄今为止，已有的对这种大块玻璃材料切片的方法使用单根金属丝。这导致低产 率、高材料损失、切片工件的厚度均匀性低和表面粗糙度较高，因此需要进行大量的 切片后研磨和抛光以便生产可用的薄的玻璃产品。
因此，人们确实需要能够对大玻璃件精确切片的方法。本发明满足了这种需要。

发明内容
因此，本发明提供了一种能够对纵向方向(linear direction)尺寸至少为1米的工件 精确切片的方法，该方法包含以下步骤
(I)将工件固定在操作台上；
(n)提供多根基本上平行的、基本上笔直的、直径约为100微米至600微米的金属 丝，并使这些金属丝和工件的表面接触；
(ni)使多根金属丝以纵向方向移动，任选地与其上分布的切割浆液一起移动；和
(IV)使多根金属丝沿切片方向相对工件移动； 其中在步骤(IV)中，这些金属丝基本上保持笔直和相互平行。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(II)中，多根金属丝具有基本上相同的 直径。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(II)中，多根金属丝是单根连续金属丝的不同线段。在某些特定的实施方式中，由起始端的金属丝供应线轴提供该单根金属
丝，由在另一端的接收线轴接收该金属丝。在某些实施方式中，在步骤(n)、 (m)和(iv)
中，通过使金属丝的纵向方向反转而不断地再利用金属丝的一部分。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(n)中，金属丝被扭绞或使其具有凹陷 以便在其中容纳切割浆液。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(ni)中，金属丝基本上以相同的线速 率移动。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(n)中，提供的多根金属丝本身不含有 磨料颗粒，在步骤(ni)中，将切割桨液分配在金属丝的表面并能够沿纵向方向与金属 丝一起移动。
根据本发明的方法的某些实施方式，在步骤(m)中，将切割浆液分配在多根金属
丝上，所述切割浆液含有选自SiC、金刚石、CBN、蓝宝石、A1203、 Ce02和它们的 混合物的磨料颗粒。
根据本发明的方法的某些实施方式，该方法产生的切口损失小于约20%，在某些 实施方式中，小于约10%，在某些实施方式中，小于约5%。
根据本发明的方法的某些实施方式，相邻金属丝之间的间隔基本上相同，并且在 切割过程中保持不变。
根据本发明的方法的某些实施方式，切片过程中金属丝的温度保持在5(TC的范围内。
在本发明的方法的某些实施方式中，线性方法基本上与切割方法垂直。
在本发明的方法的某些实施方式中，在切片过程中其两面都与割锯金属丝接触而 产生的玻璃板的厚度变化小于400微米，在某些实施方式中，小于200微米，在其它 的某些实施方式中，小于100微米。
在本发明的方法的某些实施方式中，在切片过程中其两面都与割锯金属丝接触而 产生的玻璃板的表面平直度小于400微米，在某些实施方式中，小于200微米，在其 它的某些实施方式中，小于100微米，在另外的某些实施方式中，小于40微米。
在本发明的方法的某些实施方式中，在切片过程中其两面都与割锯金属丝接触而 产生的玻璃板的平均厚度变化小于400微米，较优地小于200微米，更优地小于100 微米。
在本发明的方法的某些实施方式中，在割锯过程中其两面都与割锯金属丝接触而产生的玻璃板的对角线长度大于800微米。
在本发明的方法的某些实施方式中，在割锯过程中其两面都与割锯金属丝接触而 产生的玻璃板的表面平直度与对角线长度之比小于约1x10"，在某些实施方式中，小
于约8xl(T5，在其它的某些实施方式中，小于约5xl(T5，在某些实施方式中，小于约 2xl(T5，在另外的某些实施方式中，小于约lxl0—5。
在本发明的方法的某些实施方式中，多根金属丝的位置由位于待切片的工件两侧 的导丝体的导槽确定。
在本发明的方法的某些实施方式中，其上设置有割锯金属丝的导丝体的表面涂布 有聚氨酯。
在本发明的方法的某些实施方式中，在步骤(IV)中，金属丝从工件的顶部向下移 动至工件的底部。在其它某些实施方式中，在步骤(IV)中，金属丝从工件的底部向上 移动至工件的顶部。
在本发明的方法的某些实施方式中，在步骤(I)中，只将工件的底部固定在操作台 上。在某些其它实施方式中，还将工件的上表面固定到支承物上。
本发明的优点是，能够对对角线长度大于1米(诸如约1米至4米)的大玻璃工件 进行切片。本发明的方法能够实现低切口损失、各个平板之间以及单个板内的高的厚 度均一性、和切片后即具有的低表面粗糙度。
本发明的其它特征和优点将在随后的具体描述中叙述，本领域的技术人员从这些
描述中能够容易地理解或通过按照说明书和其权利要求书以及附图中所述实施发明而 认识到其中一部分。
应该理解，以上的一般性描述和随后的详细描述都仅仅是本发明的示例，并意在 为理解要求保护的本发明的本质和特征而提供纵览或总纲。
包含的附图提供了对本发明的进一步理解，附图被结合在说明书内并构成说明书 的一部分。
附图简要说明 在附图中，


图1是正在根据本发明的方法对大玻璃工件进行切片的正视图的图解说明。 图2是根据本发明的方法在进行切片的大玻璃工件的俯视图的图解说明。本发明的
具体实施例方式
本发明可以用于对由各种材料，如玻璃、玻璃陶瓷、金属、复合材料、塑料等构 成的工件进行切片。将参考对大的玻璃工件(如由氧化硅玻璃制成的工件)的切片过程 来说明本发明。然而，应该理解本发明的方法不局限于玻璃材料。通过选择合适的金 属丝和切割浆液，可以将本发明的方法应用于各种类型的工件材料。
如本文使用的，"纵向方向"指当金属丝与工件接触时金属丝的延伸方向。所有 的金属丝在移动时具有两个相反的纵向方向。参考图1和2，所述纵向方向包括X和 X，方向。金属丝基本在一个平面上移动通过工件。金属丝移动的方向之一是纵向方向。 金属丝移动通过工件的另一个方向是"切片方向"。参考图1和2，所述切片方向包
括y和y'方向。
如本文使用的，当采用本发明的方法进行加工时，工件是通常由固态物质构成的 一块材料。工件可以取各种形状，诸如圆柱形、长方形、球形等。工件可以是具有或 没有内部孔隙的大块材料。因此，工件可以是固体玻璃刚玉(boule)、蜂窝体结构、管 状物等。
图l和2是本发明的方法的运作的图解说明。图1是侧视图，图2是俯视图。在 图1的切片设备系统101中，工件103在切片方向x和x'的尺寸为D，该工件通过设 置成与工件103接触的多根金属丝109进行切片。金属丝109被悬空并允许其在两个 导丝体107之间延伸。金属丝109可以沿切片方向x或x'移动。将切割浆液115从浆 液IG存器和分配器111中分配到金属丝的表面。当金属丝沿纵向方向移动通过大块工 件时，施加压力使金属丝切割工件并按切片方向y移动，在某些时候(诸如在切片终点) 按相反的方向y'移动。图2是图l所示的相同装置的俯视图。在该图中，图解说明了 多根基本上平行和基本上笔直的金属线或金属线段109。由导丝体107的导槽保证并 确定金属丝109的平行和间隔。从图1和2可以看出，在切片操作的终点，工件被金 属丝切成多个薄片。
本发明的方法能够对大的工件，如由玻璃、玻璃陶瓷、金属、木材等制成的工件 进行切片。参考图1和2，这些大的工件在纵向方向的尺寸D至少为l米，如1.5米， 在某些实施方式中为2米，在某些实施方式中为3米，在某些其它实施方式中有4米 之大。本发明的方法特别有利于切割这种大尺寸的工件。
第一步，将待切片的工件固定在操作台上。尽管不是必须地，但是建议与操作台 接触的工件表面区域具有与操作台的接触表面区域互补的构形。也就是，如果操作台具有基本上平坦的表面，则要求与操作台接触的工件区域也基本是平坦的。因此，对 于具有基本为圆柱形的工件，如果要求其切片方向与圆柱体的轴垂直，则要求将该工 件的圆柱形表面的一部分切除，以形成一个可被放置在操作台上的小的平坦平面。如 果要求切片的工件是无平坦侧面的圆形，则可以对操作台进行机加工，使操作台具有 能放置所述工件的凹形接受表面。正如所能想象的，对于重达几吨级的大玻璃工件， 要求操作台必须是坚固而沉重的以便使得它是稳定的。在这样的情况下，优选将工件 放置在操作台的顶部而不是操作台的下方。工件与操作台的接合可通过比如机械夹紧、 螺纹连接等或通过使用粘合剂(如环氧树脂)的来实施。为了防止在切片过程结束时切 片的工件散落，优选使用强力粘合剂将工件粘贴到操作台上。该粘合剂可以在切片过 程结束后通过化学方法或机械方法除去。在切片过程中，操作台的一部分可以切割和 牺牲。
通常，仅将工件的一面，诸如底面或顶面固定到操作台上。然而，在步骤(II)开始
之前或步骤(n)、 (m)、 (iv)开始以后(即金属丝开始切割工件之前和之后)，不排除在将
工件固定到操作台下面，并通过比如夹紧、螺纹连接或通过使用粘合剂(诸如环氧树脂) 在上部区域进一步稳定固定到某些支承装置上。需要时可以牺牲部分或全部的上支承 装置。
在本发明的方法中，提供多根金属丝并使它们能够与进行切片的工件的表面接
触。"多根"是指切片过程中金属丝或金属丝的线段总数为至少2根，在某些实施方 式中大于5根，在某些其他的实施方式中大于10根，在某些实施方式中大于20根。 用于切割的金属丝或金属丝线段的总数对于本发明来说不是关键的，只要其大于2。 实际的数量可以不同，并可以由本领域的技术人员根据待切片的工件的大小、尺寸、 特别是对要生产的切片要求的厚度等进行调整。
通常，在本发明的方法中使用的金属丝的直径通常约为100至600微米。使金属 丝保持相互基本平行，优选基本上在同一个平面内。对金属丝施加张力，使得它们在 整个切割过程中基本上是笔直的。为使所述切片具有高表面平直度，有必要在切割过 程中保持金属丝基本上笔直。直径大于600微米的金属丝会导致高的切口损失。如本 文使用的，"切口损失"指在切片操作过程中工件所损失材料的重量百分数。直径小 于IOO微米的金属丝不被优选，因为它们的强度不足以承受为使它们保持笔直而施加 的张力。而且，如上所述，如果金属丝本身不包含用于切削的颗粒，则它们必须与供 给的切割浆液一起移动以对工件切片。由于太细的金属丝的表面积小，所以它们携带的切割浆液的量很可能太少。切割浆液起到两重作用通过摩擦进行切削和冷却金属 丝。因此，由于桨液的量不足和其冷却效果小于有效冷却效果，则细金属丝可能过热 和断裂。为了携带更多的切割浆液或冷却流体，要求将金属丝扭绞或以其它方式包含 多种表面不规则形状(诸如凹陷)，特别是当工件在纵向方向具有大尺寸时。虽然认为 在要求高表面平直度和厚度均匀性时，扭绞的金属丝并不特别适合于切片过程，但是 本发明人发现，扭绞的金属丝能够用于生产具有下述表面特征的切片玻璃板，并且实 际表现出增强了传递研磨浆液的能力。
如上所述，切割金属丝可能本身包含浸于其中的磨料(切削)颗粒。这些磨料颗粒
可以是浸于和/或嵌在金属丝中的如SiC、金刚石、蓝宝石、Ce02、 A1203、 CBN(立方 氮化硼)等。如果使用这些金属丝，在切片过程中应使用冷却流体。正如图1和2中所 示以及上文描述的切削浆料，可将冷却流体供应至金属丝表面。或者，可以使用不含 磨料颗粒的常规钢丝。因为这些金属丝可能没有进行切片的工件的材料(诸如氧化硅、 其它玻璃或玻璃陶瓷材料)那样硬，所以它们本身不能切割这些工件。因此，必须使用 其中分散有磨料颗粒的切割浆液。这些磨料颗粒可以是SiC、 SiN、金刚石、蓝宝石、 Ce02、 A1203、 CBN和它们的组合。优选将这些颗粒均匀地分布在切割浆液中。切割 浆液中磨料颗粒的尺寸和加载量可以变化。通常，在给定的金属丝速度和金属丝压力 下，较大的尺寸和较高的加载量产生较快的切削速度。如果希望切片件具有高表面光 滑度(诸如在生产LCD图像遮罩基材的情况下)，则要求切割浆液中使用直径较小的磨 料颗粒。
通常希望金属丝具有基本上相同的尺寸、在纵向方向(尽管它们的速度的方向可能 不同并且可能彼此相反)和切割方向具有基本上相同的速率。也希望在切片过程中金属 丝具有基本相同的张力。"基本上相同的尺寸"指金属丝的直径在它们的平均尺寸的 ±25%之内，或者在它们的平均尺寸的±10%范围内。在切片过程中，因为金属丝已经 受到不同程度的磨损和撕裂，所以它们的实际尺寸可能改变，但是通常希望落在上述 的范围内。
已经发现，本发明的方法能够实现非常小的切口损失，通常小于约20%，在某些 实施方式中小于约10%，在某些其他实施方式中小于约5%。低切口损失是通过较小 的金属丝直径、切片过程中沿金属丝的纵向方向基本上线性的移动路径、切片过程中 极少偏离金属丝的纵向方向的移动路径、对金属丝移动的密切引导、磨料颗粒的尺寸、 用于切割的金属线的温度和其他事项来实现的。因此，本发明的方法具有高生产量的优点。切片过程中，较好地，金属丝的温度保持在50。C范围之内，在某些实施方式中
在30。C范围之内，在某些其他的实施方式中在20。C范围之内，在某些实施方式中在 10°C范围之内。上述的温度范围代表最高温度和最低温度之间的差异。
如上所述，本发明的方法制造的切片板能够在整个平板上都具有高的厚度均一性 (因此该板的两个主要切割表面具有高的表面平行性)，即使在所述板具有直径大于1 米的大尺寸时也是如此。在本文公开的本发明之前，人们认为由于导丝体之间的距离 较长，金属丝移动路径可能偏离直线并在切片过程中随时间改变，从而在平板表面产 生不均匀的板厚度。本发明人发现，如上所述通过选择金属丝的尺寸和通过密切控制 导丝体的引导作用以及金属丝的张力，可以使在切片过程的不同时间的金属丝的移动 方向以及金属丝之间的距离保持基本恒定。这种控制的结果是所述板的主要切片面的 高平行性和板表面的高的厚度均匀性。
为了在单次切片操作和多次切片操作过程中在不同切片的板之间实现均一的板
厚度，则控制相邻金属丝之间的间隔很重要。切片的板的平均厚度由相邻金属丝之间 的距离确定。因此，相邻金属丝之间的距离越均匀，切片的板的平均厚度越均一。相 邻金属丝之间的距离是由导丝体上相邻导槽之间的距离确定的。因此，为了在切片的 板上达到高的厚度均一性，要求在切片过程中保持相邻金属丝之间的间隔基本恒定。 在大多数情况下，这需要使金属丝中的张力在切片过程中保持基本恒定。
因此，为了在板之间获得高的厚度均匀性和在单个板内获得的高的厚度均匀性， 精确控制导丝体的导槽之间的距离并且使导槽的尺寸在切片操作过程中保持基本不变 是很重要的。因此，希望在导丝体，特别是导槽上涂布一层硬质材料，该材料基本上 不会由于压力或磨损而发生严重变形。这些材料可以是比如聚氨酯聚合物。
多根切割金属丝可以是由单独的机械装置和/或电子装置提供、接收和控制的单独 的和独立的金属丝。在这种情况下，如果希望在板厚度、平直度等方面达到高的均一 性，则金属丝的尺寸、速度等基本上相同是很重要的。如果使用多根独立的金属丝， 则要求金属丝的移动高度一致。
在本发明方法的一个特别有用的实施方式中，切割金属丝仅是单根连续的金属丝 的不同线段。因此'；可由单个的金属丝线轴供应并由单个的金属丝线轴接收金属丝。 通过缠绕在导丝体的导槽上，单根金属丝可以提供多根能同时进行切割的切割金属丝 线段。相邻的金属线段在任何给定的时间能按相同的纵向方向或相反的纵向方向运动。 在切割过程中，该单根金属丝可以始终按一个方向运动。在操作终点可以通过反转纵向方向再利用所用过的金属丝。或者，在切割过程中，单根金属丝可以向多个方向移 动。也就是，该金属丝可以向右移动约IO米，然后逆向移动约9米，然后再次逆向移
动约10米，然后再次逆向移动约9米等。该过程再利用的净效应是，在单个运动周期
中只用完很短的金属线段(比如小于约1米)，因此单个的金属线线轴使用时间长得多。
本发明的方法能生产其主表面上厚度变化小于约400微米的玻璃薄板，在某些实 施方式中所述厚度变化小于约200微米，在某些其他实施方式中所述厚度变化小于约 IOO微米，在另外的某些实施方式中所述厚度变化小于约50微米。本发明的方法能生 产在多个玻璃板之间平均厚度变化小于约400微米的玻璃薄板，在某些实施方式中所 述平均厚度变化小于约200微米，在某些其他实施方式中所述平均厚度变化小于约100 微米，在另外的某些实施方式中所述平均厚度变化小于约50微米。
本发明的方法能够在切片过程中以其两面都与切割金属丝接触来生产其表面平 直度小于400微米的玻璃薄板，在某些实施方式中表面平直度小于200微米，在其他 某些实施方式中表面平直度小于100微米，在另外的某些实施方式中表面平直度小于 40微米。
本发明的方法优选用于生产对角线长度大于800毫米的切片的板。"对角线长度" 指在样品板的主表面的平面内两点之间的最长距离。因此，对于矩形板，对角线长度 是主表面的对角线的长度。对于具有圆形主表面的板，对角线长度是该圆的直径。在 这种大的平板中，在一些实施方式中，在对板进行任何进一步研磨和抛光之前，切片 的板的整体平直度与对角线长度(两者使用相同的单位)之比小于约1><10'4，在某些实施 方式中小于约8x10—5，在其他某些实施方式中小于约5x10—5，在另外的某些实施方式 中小于约2xl0—5，在另外某些实施方式中小于约lxl(T5。
如上所述，为了获得切片板的高的厚度均一性以及切片板的高的表面平直度，要 求在整个切片过程中使与工件接触的金属丝保持基本上笔直。"基本上笔直"是指单 根金属丝的弯曲小于该金属丝直接接触的工件的宽度的约15%，优选小于约10%，在 某些实施方式中优选小于约5%。因此，如果与工件接触的金属丝的总长为LW，并且 进行切片的位置的宽度为W，则金属丝的弯曲量是(LW-W)。保持金属丝基本上笔直 是指使比率(LW-W)/WxlOO。/。保持小于约15%,优选小于约10%，在某些实施方式中 优选小于8%。这能够通过调节金属丝的张力和导槽来实现。轻微的弯曲是进行切片 所需要的，然而，太大的弯曲使金属丝偏离其预定位置，造成厚度变化和表面平直度 下降。对于本领域的技术人员来说，显然可以对本发明作各种修改和变化，而不脱离本 发明的精神和范围。因此，本发明意欲涵盖本发明的修改形式和变化形式，只要这些 修改形式和变化形式落在附加的权利要求和它们的等同物的范围内。
权利要求
1. 一种能够对纵向方向尺寸至少为1米的工件精确切片的方法，该方法包含以下步骤(I)将工件固定在操作台上；(II)提供多根基本上平行的、基本上笔直的、直径约为100微米至600微米的金属丝，并使多根金属丝和工件的表面接触；(III)使多根金属丝，任选与其上分布的切割浆液一起以纵向方向移动；和(IV)使多根金属丝沿切割方向相对工件移动，同时保持这些金属丝基本上笔直和相互平行。
2. 如权利要求i所述的方法，其特征在于，在步骤(n)中，多根金属丝具有基本相同的直径。
3. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(II)中，多根金属丝是单根连续的金属丝的不同线段。
4. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(II)中，金属丝被扭绞或以具有在其中容纳切割浆液的凹陷。
5. 如权利要求i所述的方法，其特征在于，在步骤(m)中，金属丝按基本上相同的线速度运动。
6. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(II)中，所提供的多根金属丝 本身不包含磨料颗粒，在步骤(III)中，切割浆液被分配在金属丝的表面并允许沿纵向 方向与金属丝一起运动。
7. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在步骤(III)中，将切割浆液分布在多 根金属丝上，所述切割浆液含有选自SiC、金刚石、蓝宝石、A1203、 Ce02、 CBN和 它们的混合物的磨料颗粒。
8. 如权利要求l所述的方法，该方法的切口损失小于约20%。
9. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在切片过程中相邻金属丝之间的间隔 保持基本恒定。
10. 如权利要求9所述的方法，其特征在于，相邻金属丝之间的间隔基本上相同。
11. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，使金属丝的温度保持在50°C范围内。
12. 如权利要求3所述的方法，其特征在于，由在起始端的金属丝供应线轴提供单根金属丝，由在另一端的接收线轴接收金属丝。
13. 如权利要求3所述的方法，其特征在于，在步骤(II)、 (III)和(IV)中，通过反转金属丝的纵向方向，继续再利用金属丝的一部分。
14. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，所述纵向方向与切片方向基本垂直。
15. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在切片过程中以其两侧都与割锯金 属丝接触的方式生产的玻璃板的厚度变化小于约400微米。
16. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在切片过程中以其两侧都与切割金 属丝接触的方式生产的玻璃板的表面平直度小于约400微米。
17. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在切片过程中以其两侧都与切割金 属丝接触的方式生产的玻璃板的平均厚度变化小于约400微米。
18. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在切片过程中以其两侧都与切割金 属丝接触的方式生产的玻璃板的对角线长度大于约800毫米。
19. 如权利要求18所述的方法，其特征在于，在切片过程中以其两侧都与切割金 属丝接触的方式生产的玻璃板的表面平直度与对角线长度之比小于约1x10-4。
20. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，多该金属丝的位置由位于进行切片 的工件的两侧的导丝体的导槽确定。
21. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(IV)过程中，金属丝向下运动。
22. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(IV)过程中，金属丝向上运动。
23. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，在步骤(I)中，工件的下部和/或上部 被固定。
24. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(I)中，工件由Si02玻璃制成。
25. 如权利要求24所述的方法，其特征在于，在步骤(I)中，工件在纵向方向的尺 寸至少是1米。
全文摘要
本文公开了一种能够对纵向方向尺寸至少为1米的基材精确切片的方法，该方法包含以下步骤(I)将工件固定在操作台上；(II)提供多根基本上平行的、基本上笔直的、直径约为100微米至600微米的金属丝，并使这些金属丝和工件的表面接触；(III)使这些金属丝，任选地与其上分布的切割浆液一起以纵向方向移动；和(IV)使这些金属丝沿切片方向相对工件移动；同时保持这些金属丝基本上笔直和相互平行。该方法能用于对直径大于2米的氧化硅玻璃基材进行切片，产生的切片具有高的表面平直度，且厚度变化小。
文档编号B28D1/02GK101432091SQ200780015025
公开日2009年5月13日 申请日期2007年4月26日 优先权日2006年4月28日
发明者A·R·尼伯, C·M·达坎吉罗, J·M·克拉克, W·R·安格尔四世 申请人:康宁股份有限公司