固定晶棒的子母框的制作方法

文档序号:1796337阅读:226来源:国知局
专利名称:固定晶棒的子母框的制作方法
技术领域
固定晶棒的子母框技术领域[0001]本实用新型涉及半导体生产技术领域设备的部件,是一种多线切割机,具体地说 是涉及固定晶棒框体。
背景技术
[0002]切割半导体晶块是在多线切割机上进行的,切割机具有固定框,固定框用以固定 半导体晶棒,现有技术中,晶棒的固定框上既有固定晶棒的装置,又有连接的运动装置,也 就是说它是固定晶棒的装置和运动装置是在一个固定框体上的,这样在安装晶棒时就需 要较多的时间,具有效率低下的缺点。发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种生产效率高、安装晶棒省时省力 的固定晶棒的子母框。[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的固定晶棒的子母框,其特征是它包括母 体框和子体框,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定 子体框的滑动凹槽。[0005]进一步的讲,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。[0006]本实用新型的有益效果是这样的固定晶棒的子母框具有生产效率高、安装晶棒 省时省力的优点。


[0007]图1是本实用新型固定晶棒的子母框的结构示意图。[0008]其中1、母体框 2、子体框。
具体实施方式
[0009]
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。[0010]如图1所示,固定晶棒的子母框,其特征是它包括母体框I和子体框2,母体框 上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽。[0011]进一步的讲,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。
权利要求1.固定晶棒的子母框,其特征是它包括母体框和子体框,母体框上连接有运动装置, 子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽。
2 根据权利要求1所述的固定晶棒的子母框,其特征是所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。
专利摘要本实用新型涉及半导体生产技术领域设备的部件,是固定晶棒的子母框,其特征是它包括母体框和子体框,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉,这样的固定晶棒的子母框具有生产效率高、安装晶棒省时省力的优点。
文档编号B28D7/04GK202826118SQ20122041109
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月20日 优先权日2012年8月20日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司
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