一种带超声清洗槽的硅片切割装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种带超声清洗槽的硅片切割装置，属于硅片切割装置领域。


背景技术：

2.太阳能电池的硅片是通过多线切割机将硅块或者硅棒切割所得。随着硅片产业的发展，金刚线多线切割因为其切割效率高、硅片损伤层小、硅片ttv(total thickness variation，总厚度偏差)小的优点，成为当前硅片多线切割的主流技术。在金刚线多线切割的过程中，主要通过金刚线的往复运动完成对硅片的切割。而随着金刚线切割技术的发展，金刚线的线径越来越细，金刚线母材本身也越来越细，电镀的金刚砂颗粒越来越小，金刚线的开刃高度也越来越小，正因为此，在往复的切割中，切割产生的硅粉沉积在金刚线的表面，使得金刚砂刃口堵塞，降低金刚线的切削能力。


技术实现要素：

3.实用新型目的：本实用新型目的在于提供一种在切割过程中通过超声清洗金刚线上沉积的硅粉，保证金刚线的切削能力的硅片切割装置。
4.技术方案：本实用新型的带超声清洗槽的硅片切割装置，包括金刚线导轮、走线滑轮和金刚线，还包括超声清洗槽，超声清洗槽包括超声振板、换能器、进水口和水槽，超声振板位于水槽的底部，超声振板内均匀布置换能器，换能器通过线缆与超声主机连接，超声主机将产生超声的电信号传递至换能器，换能器将其转换为超声信号传递给超声振子，经由超声振板输出为超声波。进水口位于水槽一端短侧边的弧形侧板上。
5.弧形侧板为中间弧形下凹的金属板，确保在导轮下浸的时候可以充分下放，且便于流水从两端溢流出。
6.超声清洗槽通过支撑角铁安装在固定支架上，固定支架包括四个支撑体，多个支撑体连接支撑角铁，保证超声清洗槽的稳固。
7.超声清洗槽与支撑角铁通过螺钉或焊接连接，支撑角铁与支撑体通过螺钉或铆钉连接。
8.支撑体内部设有间隔均等的定位卡口，用以对穿过的螺钉和铆钉定位，便于控制支撑角铁与四个支撑体连接的高度为统一高度，进而调节超声清洗槽的高度，以调节导轮及金刚线的浸入深度，顶端设有二次固定支撑角铁用的螺杆的耳板，通过竖直方向的螺杆，对支撑体
‑
支撑角铁连接结构起到二次固定的作用，通过螺杆可以进一步微调，保持整个槽体水平。
9.金刚线导轮包括第一导轮、第二导轮和第三导轮，第一导轮和第二导轮平行等高地设置于第三导轮的上方，第三导轮的下部浸入超声清洗槽中。
10.走线滑轮包括进线滑轮和出线滑轮，金刚线经由进线滑轮绕进，于金刚线导轮上均匀缠绕形成平行切割线网，再经由出线滑轮绕出。
11.本实用新型针对金刚线切割方式增加超声波清洗金刚线以及导轮的方式，使得金
刚线切割刃口得以恢复，满足持续切割的能力。
12.有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有如下显著优点：切割硅片之后的金刚线经由浸入超声清洗槽中的第三导轮，实时清洗去污，保障了切割过程中金刚线的切削能力，切割效率高；超声清洗去污过程中，水槽中的流水一方面去污，一方面对金刚线降温处理，延长器件使用寿命并提高了切割质量。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为超声清洗槽的结构示意图；
15.图3为超声清洗槽的侧面视图；
16.图4为超声清洗槽的a
‑
a剖面视图。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用新型的技术方案作进一步说明。
18.如图1所示，本实用新型的带超声清洗槽5的硅片切割装置，包括金刚线导轮3、走线滑轮和金刚线2，还包括超声清洗槽5。金刚线导轮3包括第一导轮301、第二导轮302和第三导轮303，第一导轮301和第二导轮302平行等高地设置于第三导轮303的上方，第三导轮303的下部浸入超声清洗槽5中。走线滑轮包括进线滑轮101和出线滑轮102，金刚线2经由进线滑轮101绕进，于金刚线导轮3上均匀缠绕形成平行切割线网，再经由出线滑轮102绕出。
19.如图2所示，超声清洗槽5包括超声振板501、换能器507、进水口503和水槽506，超声振板501位于水槽506底部，超声振板501内均匀布置换能器507，换能器507通过线缆与超声主机连接，超声主机将产生超声的电信号传递至换能器507，换能器507将其转换为超声信号传递给超声振子，经由超声振板输出为超声波，进水口503位于水槽506一端短侧边的弧形侧板502上。弧形侧板502为中间弧形下凹的金属板，确保在导轮下浸的时候可以充分下放，且便于流水从两端溢流出。
20.结合图1和图2，超声清洗槽5通过支撑角铁7安装在固定支架上，固定支架包括四个支撑体6，多个支撑体6连接支撑角铁7，保证超声清洗槽5的稳固。超声清洗槽5与支撑角铁7通过螺钉或焊接连接于支撑耳板505，支撑角铁7与支撑体6通过螺钉或铆钉连接。支撑体6内部设有间隔均等的定位卡口，用以对穿过的螺钉和铆钉定位，便于控制支撑角铁7与四个支撑体6连接的高度为统一高度，顶端设有二次固定支撑角铁7用的螺杆的耳板，通过竖直方向的螺杆，对支撑体6
‑
支撑角铁7连接结构起到二次固定的作用。
21.结合图3和图4，换能器507位于超声振板501两侧的下方，可选的，根据清洗槽的长度和大小，可增设换能器507的个数，超声主机与换能器507之间的连接线缆则通过进线口504进入清洗槽内。
22.在切割的过程中，利用固定支架将设备固定，将水管与进水口503相连接，使水流流入水槽506中便于对导轮和金刚线2的清洗，将超声主机与换能器507通过线缆连接，当切割装置开始对硅块4切割时，启动超声主机，控制换能器507通过超声振板501内的超声振子产生超声波，利用超声和水流对金刚线2进行清洗，清洗下来的硅粉随流水从水槽506两端的弧形侧板502底端溢流出。


技术特征：
1.一种带超声清洗槽的硅片切割装置，包括金刚线导轮(3)、走线滑轮和金刚线(2)，其特征在于，还包括超声清洗槽(5)，所述超声清洗槽(5)包括超声振板(501)、换能器(507)、进水口(503)和水槽(506)，超声振板(501)位于水槽(506)的底部，超声振板(501)内均匀布置换能器(507)，换能器(507)通过线缆与超声主机连接，进水口(503)位于水槽(506)一端短侧边的弧形侧板(502)上。2.根据权利要求1所述的带超声清洗槽的硅片切割装置，其特征在于，所述弧形侧板(502)为中间弧形下凹的金属板。3.根据权利要求1所述的带超声清洗槽的硅片切割装置，其特征在于，所述超声清洗槽(5)通过支撑角铁(7)安装在固定支架上，超声清洗槽(5)与支撑角铁(7)通过螺钉或焊接连接，固定支架包括四个支撑体(6)，支撑角铁(7)与支撑体(6)通过螺钉或铆钉连接。4.根据权利要求3所述的带超声清洗槽的硅片切割装置，其特征在于，所述支撑体(6)内部设有间隔均等的定位卡口，顶端设有二次固定支撑角铁(7)的螺杆的耳板。5.根据权利要求1所述的带超声清洗槽的硅片切割装置，其特征在于，所述金刚线导轮(3)包括第一导轮(301)、第二导轮(302)和第三导轮(303)，第一导轮(301)和第二导轮(302)平行等高地设置于第三导轮(303)的上方，第三导轮(303)的下部浸入超声清洗槽(5)中。6.根据权利要求1所述的带超声清洗槽的硅片切割装置，其特征在于，所述走线滑轮包括进线滑轮(101)和出线滑轮(102)，金刚线(2)经由进线滑轮(101)绕进，于金刚线导轮(3)上均匀缠绕形成平行切割线网，再经由出线滑轮(102)绕出。

技术总结
本实用新型公开了一种带超声清洗槽的硅片切割装置，包括金刚线导轮、走线滑轮和金刚线，还包括超声清洗槽，超声清洗槽包括超声振板、换能器、进水口和水槽，超声振板位于水槽的底部，超声振板内均匀布置换能器，换能器通过线缆与超声主机连接，超声主机将产生超声的电信号传递至换能器，换能器将其转换为超声信号通过超声振子，经由超声振板输出为超声波，进水口位于水槽一端短侧边的弧形侧板上。本实用新型在切割的过程中及时对金刚线和导轮清洗去污，切割的效率有效提高，清洗的同时对设备进行水洗降温，延长了设备的使用寿命并提高了切割质量。切割质量。切割质量。


技术研发人员：张强 金善明 缪海波 陈益冬
受保护的技术使用者：苏州协鑫光伏科技有限公司
技术研发日：2021.05.08
技术公布日：2021/12/24